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            半导体用超高纯金属溅射靶材 2015-02-04     总浏览:21763


            高纯铝以及铝合金靶材:

            1、产品包括:Al、Al30ppmSi,、Al0.5Si、Al0.75Si、Al0.8Si、Al1Si、Al0.5Cu、AlSiCu等;

              2、零度为4N~5N5

              3、不同之结晶晶向满足客户的不同溅射需求;

              4、能够和用户一起开发研制的各族档次长寿命靶材。

            高纯钛靶材以及钛环

            1、产品包括:4N5浓缩铀、5N浓缩铀、低氧钛等;

              2、不同之结晶晶向满足客户的不同溅射需求;

              3、能够为用户提供不同档次特制的长寿命靶材和环件。



            高纯铜、铜合金靶材以及铜环、铜阳极:

            1、产品包括4N铜、4N5铜、5N铜、6N铜以及铜铝等合金靶材、纯铜以及CuP阳极材料、纯铜的环件;

              2、不同之结晶晶向满足客户的不同溅射需求;

              3、能够为用户提供不同档次特制的长寿命靶材和阳极材料。

             高纯钽、钽铝合金靶材以及钽环:

            1、产品包括:3N55N的各族纯度钽靶材、钽环以及各种寿命和规范的钽靶材和钽环;

            2、提供钽环的更新服务,为用户带来成本的节约。

            独特金属靶材,产品包括:高纯钨、钨钛、钨硅、高纯镍、镍合金、高纯铬、钴靶材等。.




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